成果名称：一种在线尺寸可控的微型空气腔FPI制作方法

所属技术领域：先进制造与自动化

成果简介：

自从20世纪70年代低损耗光纤研制成功以来，光纤就开始由通信领域逐步发展到传感领域。光纤传感技术是以光波作为载体，光纤作为媒质，对外界参量进行感知和传输的新型传感技术。与传统传感器相比，光纤传感器具有灵敏度高、抗干扰、结构简单、体积小、质量轻、光路可弯曲、对被测介质影响小、便于形成网络等优点，目前光纤传感技术己经广泛的应用于国防、航天、航空、能源环保、工业测控、生物医学、卫生医疗、计量测试等领域。在种类繁多光纤传感器中，基于法布里-铂罗干涉仪(Fabry-Perot Interferometer,FPI)结构的新型微结构光纤FPI传感器，由于具有结构简单、本质安全、灵敏度高、频带宽、抗电磁干扰、耐高温等优点而备受国内外学者青睐，研究热度逐年增高。特别适用于高温、强磁场干扰和易燃易爆等恶劣环境下对静态低压、微压及声波、振动等物理量的测量。本发明提出了一种尺寸可控、可重复的、高效微型空气腔FPI制作方法，在基于Fabry Perot的干涉式传感器中起着至关重要的作用。采用单模光纤拼接空心光纤（HCF）及放电拉锥的方法制作微型空气腔FPI。结构尺寸可以通过调节一系列参数得以控制，如HCF长度和各种熔接参数，如锥度长度，两纤维重叠幅度，和放电参数，具有成本低廉、机械强度高、制作方法简单的优点。

技术成熟度：工业化实验

合作方式：技术转让、合作开发

成果完成人：赵勇