成果名称：用于海水温盐深三参数同时测量的光纤传感器及制备方法

所属技术领域：先进制造与自动化

成果简介：

Ø  成果内容：本发明提供了用于海水温盐深三参数同时测量的光纤传感器及制备方法。在偏移纤芯一侧通过飞秒激光刻蚀和化学腐蚀制作凹槽，之后通过旋转加工平台，利用飞秒激光改变光纤折射率的特性，在偏移纤芯的另一侧包层内写入一段弧形波导，波导两端均与纤芯连接，制作出双马赫曾德干涉仪（MZI）级联结构。将该传感结构封装后形成传感器。该双MZI级联传感器的透射光谱在1300nm-1600nm波长范围内存在3个对比度不同的特征波长，且这3个特征波长对海水温度、盐度和深度的响应灵敏度不同，通过特征波长的变化值并结合灵敏度矩阵得出相应的海水温盐深信息。

Ø  技术特征：本发明中，以偏芯光纤为研究对象，采用飞秒激光作为主要加工手段，结合HF酸腐蚀制作凹槽，运用旋转加工平台写入弧形波导。制作双MZI级联的传感结构，并结合所设计的封装结构，实现海水深度到光纤应变的转化，利用不同外界物理量对特征波长的灵敏度差异，结合灵敏度系数矩阵实现对海水温盐深的同时测量。

Ø  应用前景：本发明提出的传感元件结构紧凑，机械强度和测量灵敏度较高，在复杂的海洋环境中具有较好的应用前景。

技术成熟度：小试

合作方式：技术转让、合作开发

成果完成人：赵勇